삼성전자·SK하이닉스, ASML과 각각 반도체 개발 MOU체결

[아이뉴스24 최기철 기자] 삼성전자가 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 차세대 메모리 개발에 필요한 극자외선(EUV) 기술을 한국에서 공동 개발하기로 했다. 국내 반도체 생태계 조성과 성장을 위한 기틀이 보다 강화됐다는 평가다.

삼성전자와 ASML은 12일(현지시각) 네덜란드 ASML 본사에서 EUV 공동 연구소 설립에 관한 업무협약(MOU)을 체결했다. 연구소는 한국에 들어설 예정이며, 총 투자금 7억유로(한화 약 1조원) 규모다. 각사 투자금은 비공개에 부쳐졌다.

ASML은 이와 함께 SK하이닉스와 반도체 생산과정에서 에너지 소비를 획기적으로 줄이는 친환경 공정개발을 함께 하기로 했다.

네덜란드를 국빈 방문 중인 윤석열 대통령은 이날 ASML 본사 방문에서 양국 기업 투자협력 노력을 환영하고 "양국 정부가 세계 반도체 산업을 끌고 갈 미래세대를 함께 키워내기 위해 ‘한-네 첨단반도체 아카데미' 개설에 합의하는 등 이번 국빈 방문을 계기로 한국과 네덜란드 간 '반도체 동맹'이 더욱 굳건해지는 계기가 될 것"이라고 평가했다.

빌렘-알렉산더 네덜란드 국왕도 "양국의 협력 관계가 다층적 관계로 서로 얽혀 지속적으로 발전하고 있다"면서 "양국 협력의 핵심이 바로 반도체라고 강조했다"

윤 대통령과 함께 ASML을 찾은 이재용 삼성전자 회장은 "세계 무역의 토대를 만들고 증권 시장을 처음으로 개장한 네덜란드에서도 가장 대표적인 혁신의 상징인 ASML과 전략적 파트너십을 강화해 나가고 있다"며 "빌렘-알렉산더 국왕의 한국 방문을 많은 국민들과 함께 기다리고 있다"고 말했다.

SK 최태원 회장은 "내년부터 하이닉스도 ASML과 IMEC 공동의 차세대 EUV 개발사업에 함께 참여해 AI 시대에 대비한 고성능 반도체 개발을 본격화함과 동시에 금일 체결된 수소 리사이클링 공정을 비롯한 친환경 반도체 제조 분야에서 ASML과의 협력도 강화해 나가겠다"고 밝혔다.

윤 대통령과 우리 기업인들이 방문한 ASML 본사는 네덜란드 남부도시 벨트호벤에 위치해 있으며, 전 세계에서 유일하게 극자외선 노광장비를 생산하는 곳이다.

윤 대통령과 빌렘-알렉산더 국왕, 양국 기업 대표들은 클린룸 생산라인을 방문해 ASML이 새로 개발한 차세대 EUV 장비 생산 현장을 둘러봤다. 이번에 세계 최초로 전체 노광장비 모습이 공개된 차세대 EUV 장비는 기존 EUV 장비에 비해 해상도가 높아 보다 선폭이 좁은 반도체를 쉽게 생산해낼 수 있는 것으로 알려져 있다.

양국은 ASML과 삼성전자, ASML과 SK하이닉스 간 민간 MOU 체결과 함께 한국 산업통상자원부와 네덜란드 외교부 간 정부 MOU를 맺었다.