[삼성 컨콜] "EUV 활용 노하우 있어…2000년대 중반부터 공급 업체들과 논의"


"활용 노하우 축적…14나노 D램 공정에도 적용 예정"

[사진=아이뉴스24 DB]

[아이뉴스24 민혜정 기자] 삼성전자가 극자외선(EUV) 노광장비를 경쟁사들이 잇달아 도입하고 있는 가운데, 자사는 2000년대 중반부터 EUV 관련 공급 업체들과 생태계를 조성해 왔다며 자신감을 보였다.

삼성전자는 29일 열린 컨퍼런스콜에서 "EUV 설비를 구매하고 적용한다고 다가 아니라 마스크 검사 등 에코시스템을 구축해야 한다"며 "EUV 활용 노하우를 축적해 내재화해야하고, 기술 시너지를 극대화시킬 수 있어야 한다"고 강조했다.

이어 "2000년대 중반부터 EUV 공급업체들과 에코시스템을 구축했다"며 "EUV 관련 기술 지식을 쌓아 왔다"고 덧붙였다.

이어 "5개 레이어(Layer, 층)에 EUV를 적용한 14나노 D램을 하반기에 양산할 예정"이라고 덧붙였다.

/민혜정 기자(hye555@inews24.com)







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