"국내 장비업계, 선행로드맵·성능평가 시스템 갖추자"

[박계현기자] 국내 반도체 장비기업들이 청사진을 보고 선행 개발할 수 있도록 선행로드맵과 성능평가 시스템을 갖춰야 한다는 지적이 나왔다.

한국반도체산업협회는 11일 서울 양재동 엘타워에서 '제1회 반도체 공정포럼'을 개최하고 향후 포럼을 통해 반도체 장비 부품 및 소자 업체의 상생협력 및 동반성장을 위한 협의를 해나가겠다고 의지를 보였다.

이 날 강연자로 나선 KIST 김용태 박사는 "그간 정부가 반도체 산업 육성에 상당히 많은 기여를 했다"며 "이는 국내에 큰 규모의 수요업체가 있었던 영향도 있지만 장비·부품업체들이 기술 개발 노력을 부단히 한 결과"라고 설명했다.

2011년 기준 국내 장비업체수는 110개로 1993년에 비해 업체수는 40개, 종사자수는 1만1천명으로 약 2배 가량 늘어났다. 장비 국산화율 또한 1993년 8%에서 2011년 29%로 11%p 증가했지만 미국·일본의 톱 티어 업체들과 비교하면 여전히 영세한 수준에 그치고 있다.

김용태 박사는 "장비 국산화율은 한국의 반도체 장비재료 산업의 기술 수준이 외국에 비해 30%라고 해석할 수도 있는 지표"라며 "국내는 매출규모만 보면 소자 산업과 장비 산업이 95 대 5 정도로 균형발전이 필요하고 장비 산업을 발전시켜야 될 당위성과 필요성이 있다"고 주장했다.

현재 세계 장비시장은 ASML·어플라이드머티어리얼즈·도쿄일렉트론·KLA덴코·람리서치 등 톱5 장비업체의 매출규모는 전체 시장의 50% 이상을 차지하고 있다.

김용태 박사는 "국내 장비업계는 그간 수요업체가 필요로 하는 장비를 정부 R&D의 도움을 받아 공급했지만 이제는 수요업체·장비업체·연구기관이 시스템을 갖춰 나가야 한다"고 주문했다.

특히 삼성전자·SK하이닉스 등 글로벌 기업들은 국내 산업체가 아닌 글로벌 시장을 타깃으로 한다는 자세로 접근해야 한다는 주문이다.

김 박사는 "그간 정부 지원 R&D의 경우 선행되는 로드맵이 없어 개발 기간이 어느 정도 지나면 처음 타깃을 삼았던 스펙보다 훨씬 더 버전이 업그레이드 된 모습으로 장비가 개발되고 있다"며 "처음부터 타깃이 예측되지 않는 것은 문제"라고 지적했다.

국내 개발 장비의 경우, 3년 간의 개발기간 동안 장비에 계속 모듈을 추가하다가 초기에 계획했던 장비의 크기 자체가 달라진 사례가 있었다.

김용태 박사는 "이러한 경우는 세계 시장에 진출하는 데도 걸림돌이 되며 수요·공급업체간 데이터 공유도 힘들다"며 "이러한 장비 개발은 민간에서 업체간 계약을 맺고 진행하면 될 일이지 정부 출연금을 통해 도움을 받을 필요가 없어지는 것"이라고 덧붙였다.

이밖에도 김 박사는 "현재 국내 장비업계 수준은 300mm 웨이퍼용 공정을 도입해 약간 밑돌고 있다"며 "국내 업체들도 450mm 공정전환 대응 프로그램을 시작해야 한다"고 말했다.

이어 그는 "세계적인 추세가 300mm 웨이퍼용 장비의 성능을 개선해서 수명을 연장시키겠다는 쪽으로 가고 있고, 450mm 웨이퍼용 공정 장비에도 도달하고 있다는 움직임이 있는 만큼 두 번의 '퀀텀점프(대도약)'이 필요하다"고 덧붙였다.