주성엔지니어링은 반도체 제조용 인젝터에 대한 특허를 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 "이번 특허는 각각 서로 다른 기체물질을 공간적으로 구분해 독립적으로 분사하는 인젝터에 대한 것"이라며 "반도체 사업의 경쟁력이 강화될 것"이라고 기대했다.
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주성엔지니어링은 반도체 제조용 인젝터에 대한 특허를 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 "이번 특허는 각각 서로 다른 기체물질을 공간적으로 구분해 독립적으로 분사하는 인젝터에 대한 것"이라며 "반도체 사업의 경쟁력이 강화될 것"이라고 기대했다.
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