기계연, 반도체 웨이퍼 이송장비용 2D 라이다 센서 국산화


[아이뉴스24 최상국 기자] 한국기계연구원(원장 박상진)은 라이다 센서 전문기업 에스오에스랩(대표 정지성)과 함께 반도체용 웨이퍼 이송장비에 탑재하는 2D 라이다 센서의 국산화에 성공했다고 17일 밝혔다.

라이다 센서는 초당 수백만 개의 레이저 빔을 지속적으로 발사하고 센서로 되돌아오는 시간을 바탕으로 거리를 측정하여 주변 환경을 입체적으로 인식하는 장비로 자율주행을 위해서 반드시 필요한 핵심 부품이다.

반도체 생산라인에는 사람 없이도 웨이퍼를 이송하기 위해 천정에 설치된 레일을 따라 공정을 이동하면서 웨이퍼를 실어 나르는 자율주행 시스템인 ‘OHT(Overhead Hoist Transport)’가 적용되어 있다. OHT 1대 당 2~4개의 라이다 센서가 필요한데 지금까지 전량 독일과 일본 등 수입 제품에 의존해왔다.

연구팀이 개발한 반도체 웨이퍼 이송장비용 2D 라이다 센서. 사진은 반도체 웨이퍼 이송장비(OHT)의 모습으로 장비 1대 당 2~4개의 라이다 센서가 부착되어 있다. [사진=기계연]

기계연 인공지능기계연구실 하창완 선임연구원 연구팀은 라이다 센서 전문기업 에스오에스랩, 수요기업 세메스와 협력해 국산 제품의 성능을 높이고, 양산 가능한 기술을 확보하는 데 성공했다. 수요기업과 함께 성능 평가를 진행해 현장 적용시의 신뢰성을 최대한 높이고, 제품 조립 후 수작업으로 이루어지던 보정 및 성능평가 단계를 자동화함으로써 대량 생산을 위한 양산기술을 확보했다.

연구팀은 수요기업 기준 연간 4천여 개의 반도체 웨이퍼 이송장비용 2D 라이다 센서 수입대체 효과를 거둘 것으로 기대하고 있다.

하창완 선임연구원은 “출연연, 국내기업, 수요기업이 적극 협력해 외산에 의존하던 제품을 국산화에 성공하여 의미가 크다”며 “일본의 수출규제 강화와 같은 외부 환경 변화에도 국내 반도체 생태계를 더욱 안정적으로 보호할 수 있을 것으로 기대된다”고 말했다.

에스오에스랩 정지성 대표는 “스마트 팩토리 내 센서 국산화를 통해 국가 기술력을 올리는데 기여할 수 있어서 대단히 감사하다”며 “자율주행 및 스마트 인프라 시장에서도 세계 최고 라이다 회사가 되도록 앞으로 더 최선을 다하겠다”라고 말했다.

/최상국 기자(skchoi@inews24.com)







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