11개 출연연-대학, 반도체 플라즈마 공정장비 개발 추진

[아이뉴스24 최상국 기자] 11개 정부출연연구기관과 대학이 공동으로 반도체 플라즈마 공정장비 개발에 나선다.

13일 국가과학기술연구회(NST, 이사장 원광연)는 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 '반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증' 과제를 선정하고 이를 수행할 '플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단'이 11월부터 연구에 착수한다고 밝혔다.

플라즈마 융합연구단에는 NST 소관의 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 한국표준과학연구원 등 4개 출연연과 서울대, 부산대, 충남대, 전북대, 명지대, 가천대, 한국항공대 등 7개 대학의 반도체 장비 산업 관련 연구인력 100여명이 참여한다.

연구단은 군산에 위치한 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터에 설치되며, 앞으로 6년간 총 440억원을 투입해 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술을 개발, 실증할 계획이다.

윤정식 단장(국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터장)은 “반도체 제조 공정장비 지능화 기술에 대한 R&D 테스트 베드를 구축하여 국산 장비의 글로벌 경쟁력을 높이고, 세계 시장 점유율을 확대해 나갈 것”이라 포부를 밝혔다.

원광연 NST 이사장은 “반도체 장비에 대한 해외 의존도가 높은 상황에서 플라즈마 융합연구단이 국산 반도체 공정 장비의 경쟁력을 높이는 전환점이 되길 바란다”며, 이와 함께 “군산시에 설치되는 융합연구단이 지역 내 장비산업의 허브로서 지역산업혁신과 국토균형발전을 이룰 수 있도록 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.

NST의 융합연구단 사업은 대형 연구성과 창출을 위해 참여기관 연구자들이 한 장소에 결집해 연구하고 종료 후에는 원소속기관으로 복귀하는 일몰형 연구조직을 특징으로 하고 있다.

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