삼성전자, 화성 이어 평택에도 EUV 파운드리 라인 구축

[아이뉴스24 윤선훈 기자] 삼성전자가 화성에 이어 평택에서도 EUV 파운드리(반도체 위탁생산) 라인을 구축한다.

삼성전자가 EUV(극자외선) 기반 최첨단 제품 수요 증가에 대응하기 위해 경기도 평택캠퍼스에 파운드리 시설을 조성한다고 21일 밝혔다. 올해 하반기 완공 예정인 D램 생산 라인 'P2' 부근에 구축된다.

이번 투자는 삼성전자가 지난해 4월 발표한 '반도체 비전 2030' 관련 후속 조치의 일환이다. 삼성전자는 시스템 반도체 분야에서 글로벌 1위를 달성하기 위한 세부 전략을 실행하고 있으며 이에 화성에 이어 평택에도 EUV 파운드리 라인을 건설한다.

삼성전자는 이달 평택 파운드리 라인의 공사에 착수했으며, 2021년 하반기부터 본격 가동할 계획이다.

삼성전자는 지난해 상반기부터 7나노 파운드리 공정에 EUV를 적용했다. 업계 최초다. 파운드리 업계 1위인 대만 TSMC도 삼성전자보다 EUV 공정 적용 시기가 늦었다.

EUV는 파장의 길이가 기존 ArF(불화아르곤)의 14분의 1 미만에 불과하다. 보다 세밀한 반도체 회로 패턴 구현에 적합하며 복잡한 멀티 패터닝 공정을 줄일 수 있어 반도체의 고성능과 생산성을 동시 확보할 수 있다.

삼성전자는 2019년 화성 S3 라인에서 EUV 기반 7나노 양산을 시작한 이후, 2020년 V1 라인을 통해 초미세 공정 생산 규모를 지속 확대해 왔다. 오는 2021년 평택 라인까지 가동되면 7나노 이하 초미세 공정 기반 제품의 생산 규모는 더욱 가파르게 증가할 전망이다.

삼성전자는 생산성을 더욱 극대화한 5나노 제품을 올해 하반기에 화성에서 먼저 양산한 뒤, 평택 파운드리 라인에서도 주력 생산할 예정이다.

정은승 삼성전자 DS부문 파운드리사업부 사장은 "5나노 이하 공정 제품의 생산 규모를 확대해 EUV 기반 초미세 시장 수요 증가에 적극 대응해 나갈 것"이라며 "전략적 투자와 지속적인 인력 채용을 통해 파운드리 사업의 탄탄한 성장을 이어나갈 것"이라고 말했다.

글로벌 파운드리 시장은 5G, HPC(고성능컴퓨팅), AI(인공지능), 네트워크 등 신규 응용처 확산에 따라 초미세 공정 중심의 성장이 예상된다. 삼성전자는 프리미엄 모바일 칩을 필두로 하이엔드 모바일과 신규 응용처로 첨단 EUV 공정 적용을 확대해 나간다는 전략이다.

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